碳氢超声波清洗机按照工件搬运的自动化程度可分为全自动、半自动和手动；按照清洗槽的数量可分为单槽机、双槽机、多槽机等；按照清洗工件体积可分为大型机、中型机和小型机；按照蒸馏装置与清洗装置的结合方式可分为一体式和分离式，按照清洗对象还有电镀、热处理、卷材清洗专用机。根据真空清洗干燥机各部分的作用，可分为清洗系统、干燥系统、蒸馏再生系统、输送系统、控制系统、安全辅助装置几部分。近些经过国内生产厂家经过多年的研究开发，使真空清洗干燥机的技术水平逐步提高，功能不断完善，洗净力大幅度提高、成本进一步下降、可以满足更多客户的清洗要求，从而使碳氢清洗技术日臻成熟，被越来越多的客户所认同，在替代ODS和有害清洗溶剂中发挥了巨大作用
碳氢超声波清洗机主要由超声波发生器，超声波换能器，清洗槽，真空干燥系统，蒸馏回收槽，循环过滤系统，分水系统，自动控温加热系统，地盘及机架，进出料输送系统，轻型多臂机械手，抽排系统，全封闭外罩，观察窗和控制系统组成。
1、超声波真空清洗，蒸汽养护干燥过程分别在独立的真空室中进行，每道工艺过程均可设定和调整。
2、设有液体恒温控制及旋转和抛动清洗机构。
3、采用尼古拉抽真空将盲空。
4、干燥槽设有预热装置。
5、超声波清洗机装备真空蒸馏回收系统。
6、采用防爆气体。